Курсова робота «Вплив технологічних факторів на процес дифузії в кремнії», 2004 рік

З предмету Радіотехніка · додано 21.09.2010 13:37 · від wepr · Додати в закладки
35 грн Вартість завантаження

Зміст

Вступ 1. Технологічні режими дифузії домішок у напівпровіднику 1.1. Процеси, що визначають дифузію домішок 1.2. Рівняння дифузії 1.3. Дифузія з нескінченного джерела домішки 1.4. Розрахунок розподілу домішки при загонці термічної дифузією 1.5. Дифузія з кінцевого джерела домішки 1.6. Розрахунок розподілу домішки при розгонці 2. Техніка проведення процесів дифузії 2.1. Дифузія з газової фази 2.2. Дифузія з рідкої фази 2.3. Дифузія з твердої фази 3. Способи здійснення процесів дифузії 3.1. Дифузія в замкнутому об’ємі 3.2. Дифузія в потоці газу-носія 3.3. Основні дифузанти 4. Моделі дифузійних процесів 4.1. Основні механізми дифузії 4.2. Дифузія літію 4.3. Дифузія фосфору 4.4. Дифузія миш'яку 5. Способи контролю дифузійного процесу 6. Опис дифузійної печі сдо-125/4 Висновок Література

Висновок

В результаті виконання курсової роботи було розглянуто технологічні режими дифузії домішок в напівпровіднику, техніка проведення процесів дифузії, а також способи здійснення процесів дифузії і моделі дифузійних процесів. Проведено розрахунки розподілу домішки при загонці термічною дифузією і розподіл домішки при розгонці. Ми переконались, що дифузія домішок відіграє найважливішу роль у планарній технології виготовлення кремнієвих приладів і використовується для легування напівпровідникових пластин з метою створення p-n-переходів планарних структур. Також в даній курсовій роботі приведено опис дифузійної печі, яка використовується для виготовлення інтегральних схем з відтвореними і стабільними параметрами.

Коментар модератора

45 стор.

Перед завантаженням, ви можете звернутися до адміністратора сайту, та ознайомитися з роботою через Skype (live:intellectnova)

Завантаження буде доступне після авторизації та поповнення балансу на 35 грн

Зайти на сайт

Забули пароль? Ще не зареєстровані?